高感度センサ応用技術例: ポータブルガスクロマトグラフによる水素、メタン、COの低濃度検出 - 地球温暖化防止研究への寄与

従来から半導体ガスセンサを、ガスクロマトグラフィーのガス検知器として用いるというアイディアが提案されており、土壌のバクテリアが発生するエチレンの検出など特殊な目的で実用化されているケースがありました。エフアイエスが開発した高感度センサ(SB タイプ)とカラム技術を組み合わせて水素・メタン・CO の3種類のガスを 1ppm 以下の濃度から定量的に測定出来る装置が実用化されています。



半導体ガスセンサの特色は「各種のガスに低濃度から高い感度を有する」事にあります。当社の近年のガスセンサ開発研究はこの特色を更に発展させ、3種類のガスを1ppm 以下の濃度から検出可能なレベルに到達しています。このセンサをガス分離カラムと組み合わせる事によって「3種類のガスを独立に、かつ定量的に測定する」事が出来ます。しかもこの方式は一般的なガスクロマトグラフィーの検出器のように特殊なキャリアガス(水素やヘリウム)を必要とせず、装置をコンパクトに出来るため「海洋に溶存しているグリーンハウス効果に関わりが深いメタンなどのガス濃度モニタ」や火山でのガスの発生状況のモニタなど、現場で簡単に行う事が出来るようになりました。この技術は他の分野でも幅の広い応用展開が可能です。具体的な応用例についてはお問い合わせ下さい。


応用例:センサーテック(株):GS-19